随着智能机器人与可穿戴式电子器件技术的发展，柔性触觉传感器的应用需求将会越来越大，柔性触觉传感器产业化需求迫切。柔性触觉传感器按照测力机理的不同主要分为：柔性压力传感器、柔性应变传感器、柔性湿度传感器、柔性气体传感器、柔性温度传感器、柔性热流量传感器和柔性磁阻抗传感器等，其中，柔性电容式传感器由于高灵敏度、高精度以及动态响应好等优点而获得了广泛的关注，是目前研究和应用最为广泛的一类柔性触觉传感器产品。机器人触觉传感器的研究始于20世纪70年代，是在智能机器人的发展下而兴起的一个传感器细分行业。发展初期的机器人触觉传感器触觉的工作原理主要以压阻式和电感式为主，结构较为简单。2000年以来，随着MEMS技术、新材料和新工艺的发展，触觉传感器开始向柔性化、轻量化、高阵列、高灵敏度的方向发展，出现了柔性触觉传感器，相应的应用领域也获得了较大的扩展，柔性电容式传感器由于高灵敏度、高精度以及动态响应好等优点而获得了广泛的关注，是目前研究和应用最为广泛的一类柔性触觉传感器产品。除了智能机器人领域外，柔性触觉传感器在工业设备、医疗器械、消费电子、体育器材、纺织行业、航空航天、环境勘测等领域获得了广泛应用。