随着人口老龄化和中国医疗保健系统的健全，各种远距离监护和高精度治疗设备将越来越多地被引入。医疗保健市场逐渐成为MEMS传感器应用的又一大市场。MEMS具有微型的特点，可以代替器官植入、微量检测，主要的发展方向是血管内手术和颅内手术以及细胞手术。目前，很多传感器已经成功的应用的医疗设备中了，如，MEMS加速度传感器用于无创胎心检测，倾角模块在医疗手术床上应用等。

MEMS传感器在消费电子领域中主要应用于运动/坠落检测、导航数据补偿、游戏/人机界面、电源管理、GPS增强/盲区消除、速度/距离计数、其他体育和保健应用等等。这些MEMS技术都在很大程度上提高了用户体验，并带来了全新的电子消费产品。其中加速度计是该市场中第一大应用产品。而近期陀螺仪增长迅速，已经成为继加速度计后的第二大应用产品。

汽车电子是传感器的一个重要应用领域。随着电子技术的发展和汽车电子控制系统应用的日益广泛，汽车传感器市场需求将保持高速增长，微型化、多功能化、集成化和智能化的传感器将逐步取代传统的传感器，成为汽车传感器的主流。每台汽车会有40到上百个传感器，而汽车智慧化的发展趋势也将促进汽车市场对传感器的需求。

除去以上三个领域，在工业领域中，MEMS传感器也有很多的应用。小体积、低成本的MEMS传感器越来越多地用在各种机械振动监测上，它可以用来监测马达、轴承等的振动，从而实现预见性维护;利用MEMS加速度计实现的倾角仪也被广泛用在各种工业测量设备上;还有遥控直升机的伺服系统、两轮车的平衡系统、天线稳定平台等。